Grüner Laser erlaubt feine Strukturen

Scanlab stellte auf der Laser – World of Photonics ein neues ›Precsys‹-System vor. Es ermöglicht die Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von flexibel einstellbaren Geometrien mit hohem Aspektverhältnis.

05. Juli 2019
Grüner Laser erlaubt feine Strukturen
Das ›Precsys-515‹-Mikrobearbeitungssystem ist für eine Laserstrahlung von 515 Nanometern ausgelegt. (Bild: Scanlab)

Ein relativ neuer Markt für Laserprozesse in der Elektronikindustrie ist die Herstellung von Probe Cards, die als Hilfsmittel zum Testen integrierter Schaltkreise dienen. Diese Probe Cards stellen hohe Ansprüche an die Laserbearbeitungsmaschinen für Mikrostrukturierungsanwendungen.

Um diese Anforderungen besser bedienen zu können, erweitert Scanlab die ›Precsys‹-Produtkfamilie um ein System, das auf einen grünen Laser mit einer Wellenlänge von 515 Nanometern ausgelegt ist. Im Vergleich zu Infrarotlasern mit 1.030 Nanometern wird genau die halbe Wellenlänge eingesetzt, was zu einer deutlich geringeren Laserspotgröße führt. So können anspruchsvolle Materialien lateral noch genauer bearbeitet werden. Bei gleichem Öffnungswinkel des Laserstrahls können größere Aspektverhältnisse erzielt werden.

Neues Regelungskonzept

Dank der vielfältigen Positioniermöglichkeiten des Laserstrahls (in x-, y-, z-, α-, β-Richtung) bieten die Scan-Köpfe eine hohe Flexibilität bei der Entwicklung neuer Prozessstrategien. Für die Bearbeitung können sowohl kreis-, ellipsen- oder linienförmige Bahnen in 2D oder 3D definiert werden.

In der gesamten Produktfamilie wird ab sofort ein neues Regelungskonzept eingesetzt, das höhere Rotationsfrequenzen und Bearbeitungsgeschwindigkeiten bei Bohrvorgängen erlaubt. Die aktuelle Version der ›Drill-Control‹-Software unterstützt beide Varianten des Precsys, sodass bestehende Bearbeitungsjobs weiter genutzt werden können. Erste Systeme des ›Precsys 515‹ sind ab dem vierten Quartal 2019 bestellbar.